MCG 4537 Micro et Nano Systèmes
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Mechanical Engineering
Faculty of Engineering
Principes fondamentaux régissant les micro et nano systèmes, étude de cas d'applications sélectionnées et aperçu des techniques de micro et nano fabrication de semi-conducteurs. Les sujets incluent la mécanique statique et dynamique à dimensions réduites, les actionneurs électrostatiques, les résonateurs nanomécaniques, ainsi que les limites de performance imposées par le principe d'équipartition de l’énergie et le théorème de fluctuation-dissipation.
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